应变式压力传感器是一种通过测量各种弹性元件的应变来间接测量压力的传感器。根据制作材料的不同,应变元件可以分为金属和半导体两大类。应变元件的工作原理基于导体和半导体的“应变效应”,即当导体和半导体材料发生机械变形时,其电阻值将发生变化。电阻值的相对变化与应变有以下关系:
式中
为材料的应变;K为材料的电阻应变系数,即单位应变引起的电阻相对变化量。金属材料的K值约为2~6,半导体材料的K值可达60~180。
金属电阻应变片主要有丝式应变片和箔式应变片两种结构。如图1所示。
图1 电阻应变片结构
丝式应变片由金属丝栅(亦称敏感栅)、基底、引线、保护膜等组成。敏感栅一般采用直径0.015~0.05mm的金属丝,用粘合剂固定在厚0.02~0.04mm的纸或胶膜基底上。引线是由直径0.1~0.2mm低阻镀锡铜线制成,用于将敏感栅与测量电路相连。
箔式应变片的敏感栅是用厚度为0.003~0.0lmm的金属箔经光刻、腐蚀等工艺制成的。优点是表面积与截面积之比大,散热条件好,能承受较大电流和较高电压,因而输出灵敏度高,并可制成各种需要的形状,便于大批量生产。由于上述优点,它已逐渐取代丝式应变片。
应变片与弹性元件的装配可以采用粘贴式或非粘贴式,在弹性元件受压变形的同时应变片亦发生应变,其电阻值将有相应的改变。粘贴式应变压力计可采用1、2或4个特性相同的应变元件,粘贴在弹性元件的适当位置上,并分别接入电桥的桥臂,则电桥输出信号可以反映被测压力的大小。为了提高测量灵敏度,通常采用两对应变片,并使相对桥臂的应变片分别处于接受拉应力和压应力的位置。
应变式压力传感器所用弹性元件可根据被测介质和测量范围的不同而采用各种型式,常见有圆膜片、弹性梁、应变筒等。图2给出几种弹性元件和应变式压力传感器的结构及电桥式测量电路示意图。
图2 应变式压力传感器