下图所示为一种变面积式电容压力传感器。被测压力作用在金属膜片上,通过中心柱和支撑簧片,使可动电极随簧片中心位移而动作。可动电极与固定电极均是金属同心多层圆筒,断面呈梳齿形,其电容量由两电极交错重叠部分的面积所决定。固定电极与外壳之间绝缘,可动电极则与外壳导通。压力引起的极间电容变化由中心柱引至适当的变换器电路,转换成反映被测压力的标准电信号输出。
金属膜片为不锈钢材质,膜片后设有带波纹面的挡块,限制膜片过大变形,以保护膜片在过载时不至于损坏。膜片中心位移不超过0.3mm,膜片背面为无硅油的封闭空间,不与被测介质接触,可视为恒定的大气压,故仅适用于压力测量,而不能测量压差。